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News光譜共焦傳感器在納米計(jì)中的應(yīng)用原理介紹
更新時(shí)間：2018-09-03 點(diǎn)擊次數(shù)：1625次
光譜共焦傳感器應(yīng)用于表面難以測(cè)量的物體（技術(shù)性及困難表面），是一種非接觸式輪廓測(cè)量的通用的測(cè)量解決方案。理想情況下，共焦傳感器適合于敏感的，軟的或液體的表面。適用于微機(jī)械工程，電氣工程，光學(xué)行業(yè)，塑料和造紙行業(yè)，半導(dǎo)體和PCB產(chǎn)業(yè)的檢測(cè)，工具行業(yè)等。
使用光譜共焦測(cè)量技術(shù)，可以得到超高分辨率。納米級(jí)分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色，得到距離信息，光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑，從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著，即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕，也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。
由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中，使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式，如激光三角反射式測(cè)量，對(duì)于小孔往往無(wú)能為力，因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路，無(wú)法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù)，微型光譜共焦傳感器探頭，這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑，可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
另一種非常適合光譜共焦傳感器的應(yīng)用是測(cè)量多層透明材料的厚度。與其他測(cè)量方法不同，光譜共焦傳感器在測(cè)量這種物體時(shí)，僅需要一支探頭就可以完成測(cè)量。
測(cè)量被測(cè)物體前端面和后端面的反射光，從而得到層厚信息。由于測(cè)量只使用白光，無(wú)需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路，傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒，這會(huì)影響測(cè)量精度，甚至使測(cè)量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法，探頭到被測(cè)物體的距離也有一定限制。
光譜共焦傳感器納米計(jì)主要特點(diǎn)
1、納米級(jí)分辨率；與光強(qiáng)度無(wú)關(guān),與被測(cè)體反射系數(shù)無(wú)關(guān)；
2、堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)，使用壽命長(zhǎng)；
3、易操作且動(dòng)態(tài)測(cè)量可以達(dá)到很高的測(cè)量頻率，匹配自動(dòng)化的需求。操作人員不需要經(jīng)過專業(yè)的培訓(xùn)也能得到可靠的測(cè)量結(jié)果；
4、NLS12傳感器，具有簡(jiǎn)化的獨(dú)立系統(tǒng)，可以在工業(yè)或交通不便的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量；
5、與三角反射法不同,幾乎無(wú)反射角要求,且無(wú)反射平面阻擋之影響,因此可用于小孔深度測(cè)量；
6可以計(jì)算面積，厚度或體積；
7、可進(jìn)行平整度的測(cè)量，高度或位置的測(cè)量；
使用光譜共焦測(cè)量技術(shù)，可以得到超高分辨率。納米級(jí)分辨率源于上述經(jīng)過特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色，得到距離信息，光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑，從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著，即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕，也逃不過光譜共焦傳感器的眼睛。
由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中，使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式，如激光三角反射式測(cè)量，對(duì)于小孔往往無(wú)能為力，因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路，無(wú)法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù)，微型光譜共焦傳感器探頭，這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑，可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
另一種非常適合光譜共焦傳感器的應(yīng)用是測(cè)量多層透明材料的厚度。與其他測(cè)量方法不同，光譜共焦傳感器在測(cè)量這種物體時(shí)，僅需要一支探頭就可以完成測(cè)量。
測(cè)量被測(cè)物體前端面和后端面的反射光，從而得到層厚信息。由于測(cè)量只使用白光，無(wú)需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路，傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒，這會(huì)影響測(cè)量精度，甚至使測(cè)量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法，探頭到被測(cè)物體的距離也有一定限制。
光譜共焦傳感器納米計(jì)主要特點(diǎn)
1、納米級(jí)分辨率；與光強(qiáng)度無(wú)關(guān),與被測(cè)體反射系數(shù)無(wú)關(guān)；
2、堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)，使用壽命長(zhǎng)；
3、易操作且動(dòng)態(tài)測(cè)量可以達(dá)到很高的測(cè)量頻率，匹配自動(dòng)化的需求。操作人員不需要經(jīng)過專業(yè)的培訓(xùn)也能得到可靠的測(cè)量結(jié)果；
4、NLS12傳感器，具有簡(jiǎn)化的獨(dú)立系統(tǒng)，可以在工業(yè)或交通不便的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量；
5、與三角反射法不同,幾乎無(wú)反射角要求,且無(wú)反射平面阻擋之影響,因此可用于小孔深度測(cè)量；
6可以計(jì)算面積，厚度或體積；
7、可進(jìn)行平整度的測(cè)量，高度或位置的測(cè)量；
